凯世通国产低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片

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人民财讯5月18日电，据万业企业消息，万业企业旗下凯世通国产低能大束流离子注入机12英寸晶圆产品片过货量突破500万片。离子注入机是芯片制造三大关键装备之一，开发难度仅次于光刻机。